技术指标: 1、电子光学: · 高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪 · 45度大锥角物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑 · 加速电压: 200 V - 30 kV · 束流: 最大2μA并连续可调 · 放大倍数: 6x – 1,000,000 x(四幅图像显示) 2、分辨率 · 二次电子(SE)成像:高真空模式:30kV时 3.0nm;3kV时 8.0nm · 低真空模式:30kV时3.0nm;3kV时 10.0nm · ESEMÔ环境真空模式: 30kV时 3.0nm · 背散射电子(BSE)成像:30kV时 4 nm 3、样品室真空 < 6´10-4 - 2600Pa;三种真空模式: 高真空、低真空和ESEM环境真空 |